2001年3月盛威电子发布了ITX主板的参考设计

盛威电子发布的Mini-ITX是一块17×17厘米（6.7×6.7英寸）的主板，由VIA Technologies在2001年开发。它们通常用于小型配置的计算机系统中。

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2001年3月，芯片组制造商VIA Technologies发布了ITX主板的参考设计，以推广他们从Centaur Technology购买的低功耗C3处理器及其芯片组。215×191毫米VT6009 ITX参考板由威盛首席研发专家Robert Kuo设计，并在“信息PC”和机顶盒配置中得到了展示。后来他设计了Mini-ITX规范。那时，很少有制造商采用ITX设计，但是Shuttle，Jetway等生产了许多基于ITX的立方体计算机。相反，其他制造商则基于非常相似的229×191 mm FlexATX配置生产了较小的板。

2001年10月，威盛宣布决定创建一个新的主板部门，以提供用于低成本PC迭代的标准化基础架构，并专注于嵌入式设备。结果是VT6010 Mini-ITX参考设计于2001年11月发布，再次被誉为“信息PC”或低成本的入门级x86计算平台。制造商仍然不愿意，但是客户的反应更容易接受，因此威盛决定自己制造和销售这些板。

2002年4月，第一批Mini-ITX主板——VIA的EPIA 5000（无风扇533 MHz Eden处理器）和EPIA 800（800 MHz C3）被出售给工业客户。